FC300

Le Flip-Chip Bonder FC300 est la dernière génération d’équipements haute précision et haute force pour l’assemblage puce-à-puce -jusqu’à 100 mm- et puce-sur-wafer -jusqu’à 300 mm, avec une précision post-assemblage de 0.3 µm.

Le FC300 couvre une large gamme de forces d’assemblage, de 1 à 4000 N.

Cela le rend parfaitement adapté aux processus de refusion et de thermocompression.

Le nivellement entre les deux composants est ajusté avant chaque assemblage à 1 μradian près.

Le réglage du parallélisme, l’alignement haute résolution et le contrôle parfait de tous les paramètres permettent d’atteindre une précision post-assemblage submicronique.

Avantages

  • Précision post-assemblage de ± 0.3 µm
  • Assemblage à faible / haute force
  • Parfait contrôle du parallélisme
  • Gaz de confinement dont acide formique
  • Système de vision unique
  • De la R&D à la ligne pilote

Procédés

  • Flip-Chip / Die bonding
  • Thermocompression
  • Reflow
  • Adhesive bonding
  • Polymérisation UV
  • Thermosonique

Applications

Données techniques

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